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產(chǎn)品名稱: 光線溫度傳感器Luxtron
產(chǎn)品型號: Luxtron m920
產(chǎn)品展商: Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
用于 OEM -100oC 至 330oC 的光纖溫度傳感系統(tǒng)
Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和雙通道 m922 半導體模塊經(jīng)過精心設計，可對蝕刻器和靜電吸盤、腔室和其他設備等晶圓制造設備進行溫度監(jiān)測。
混合和匹配組件
可使用當前半導體 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探頭和光纖延長線
內(nèi)置校準表可匹配定制 AE 探頭，實現(xiàn)高精度測量
*大可實現(xiàn)精度為 ±0.05°C（視探頭而定)
光線溫度傳感器Luxtron
的詳細介紹
完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解決方案采用電子模塊組件制造，配備兩個主板和探頭。主板包含光纖溫度傳感通道、數(shù)字輸出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和電源連接。模擬輸出板安裝在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 輸出。還可以選擇金屬外殼。
m920 系列系統(tǒng)采用 Fluoroptic® 技術。m920 系列主板可對來自 Fluoroptic 探頭的測量信號進行調(diào)制，然后將校準的溫度報告給 OEM 控制系統(tǒng)。
優(yōu)點
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為不同的蝕刻和晶圓制造過程實現(xiàn)高精度和高溫范圍
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以快速采樣率監(jiān)測更快的斜坡條件
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使用這種低噪聲解決方案獲得更**的溫度測量結果
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充分利用產(chǎn)品的出色可靠性，降低故障率
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獲得支持 在全球范圍內(nèi)支持定制集成和探頭設計
特點
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雙通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可擴展至多達 64 通道
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單 PCB 設計，具有模擬輸出和金屬外殼等選項
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高電壓、射頻、等離子體和微波等不會對探頭產(chǎn)生電磁干擾
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可向后兼容 Advanced Energy 彈簧加載和 Accudisc 探頭
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可為半導體應用提供定制探頭
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